纳米技术的思想最初由美国物理学家理查德·费曼（Richard P. Feynman）在1959年提出。在70年代后期，一些科学家倡导发展纳米技术，但当时大多数主流科学家对此持怀疑态度。在70年代中期到80年代后期，一些科学家相继在实验室制备得到了纳米尺寸的材料，并发现了这种材料的奇妙特性。1990年，当国际商用机器公司（IBM）的科学家使用扫描隧道显微镜将氙原子拼成了该公司商标IBM时，纳米技术开始成为媒体关注的热点。1990年7月，在美国巴尔的摩举行的第一届国际纳米科技大会标志着纳米科技的正式诞生。
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